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FF35 CT

FF35 CT 可选配双射线管配置,在检测中小型零件时,兼具空前优异的CT数据质量和非凡的多功能性。
产品系列: FF 系列
应用行业: 汽车制造, 微电子, 航空航天, 科研开发, 铸造, 半导体, 增材制造
缺陷尺寸: <1µm 缺陷, <50µm 缺陷, <1mm 缺陷, >1mm 缺陷
样品尺寸: 小型, 中型, 大型
运行模式: 3D, 2D/3D, 计量

FF35 CT 亮点

单或双射线管配置,可最大限度提高实验室微焦点CT应用多功能性

只需轻触一个按钮,即可在数秒内在 225 kV Micro-focus管和190 kV Nano-focus管之间自如切换

花岗岩底座操控和温控,确保精确的结果

通过Geminy软件平台进行各种CT轨迹和视场 (FoV) 扩展,应用灵活

可选计量版本,测量精度可达 MPESD = 5.9 µm + L/75 [L in mm]

提供符合半导体市场标准的 FF35 CT SEMI 版本


可灵活检测中小型零件

Comet Yxlon FF35 CT、FF35 CT Metrology和FF35 CT SEMI 涵盖了非凡的应用范围。丰富的功能涵盖了研发部门的改良材料测试、过程控制和小批量检验的优化,以及各种科学应用。双X射线管配置帮助高分辨率CT系统大幅扩展汽车、电子、航空和材料科学行业的质量保证和研究的应用空间。


成熟验证技术: 225 kV 折射式微焦点射线管

225 kV Comet Yxlon 折射式微焦点射线管具有 320 W 高功率和水冷靶材,可在不到一分钟的时间内完成快速 CT 扫描。2D 检测时,射束管空间分辨率为 4 μm。可在单个检测序列内自如切换折射式微焦点射线管和纳焦点透射管,大幅扩展应用范围。


完美的额外选配: 190 kV 纳焦点透射管

对于10 mm 或更小尺寸的零件,分辨率在亚微米范围内的 190 kV 纳焦点透射管是理想的解决方案,有助于高分辨率检查各种样本:虽然其水冷式放射管头可实现快速温度调节并具有极高的焦点稳定性,但可通过四种模式基于功率进行相应的焦点尺寸适配调整。由于两根射线管均自备发生器和高压电缆,因此无需重新配置即可轻松切换。

各种轨迹最大限度提高灵活性

Geminy直观的用户界面上显示的图形符号和广泛的自动化功能,操作简便,不受操作员技能水平限制。同时,该软件还随附了丰富的功能,可灵活应对各类零件尺寸和检查任务,包括 HeliExtend(螺旋CT扫描和重建方法)等CT轨迹、水平和垂直视场扩展、虚拟旋转轴和标准QuickScan/QualityScan。


FF35 CT可检测哪些物体?

电子器件,包括SMD

涉及新材料或新制造方法的产品,如增材制造零件、纤维增强塑料

电池电芯和模组

注塑成型塑料

微系统 (MEMS, MOEMS)

医疗用品,例如插管

轻合金铸件

地质、古生物和生物样本


FF35 CT 用于哪些应用?

质量保证、材料分析和研究

失效与结构分析

装配检查

小批量生产检验

过程控制

数字化

无损剖切


FF35 CT SEMI: 专为半导体领域应用研发

Comet Yxlon FF35 CT SEMI X射线系统是一种创新的多功能高分辨率 CT 系统,用于研发和质量保证领域。这套系统专为半导体相关行业检验应用开发。FF35 CT SEMI 符合 SEMI® 的严苛标准(包括 SEMI® S2-0818 和 SEMI® S8-0218 危险和安全标准)并通过了相应的认证。


使用FF35 CT Metrology测量超精细内部结构

Comet Yxlon FF35 CT Metrology将CT尺寸控制(例如超精细内部结构测量)的精确度提升至全新维度。一次 CT 扫描近乎捕获几乎无限的测量点,不受测量评估结果影响。无缝缺陷分析和名义值-实际值比较,节省时间并减少产品抽样校正循环相关的校正成本。FF35 CT Metrology符合VDI/VDE 2630 标准。


技术参数

属性 相关数据
样品直径 530 [mm] (20.9")
样品高度 800 [mm] (31.5")
最大样品重量 27 [kg]
系统尺寸 2960 x 1590 x 2120 [mm]
X射线管 Y.FXT 225.48 定向射束管,
额外可选配 Y.FXT 190.61 透射管
CT 模式 QuickScan®快速扫描, 质量扫描, 锥束 CT, 螺旋 CT, 虚拟旋转轴, 视场扩展,
批量扫描
基台 大理石基台, 主动式气垫, 6 - 8 轴, 大范围 FDD